RHH-serie RF-voeding

Korte beschrijving:

De RF-voedingen uit de RHH-serie zijn gebaseerd op geavanceerde RF-opwekkingstechnologie om klanten te voorzien van RF-voedingen met een groter vermogen, hogere precisie en een snellere respons. De voedingen zijn fase-instelbaar, pulsregelbaar, digitaal af te stemmen en hebben andere functies. Toepasbare toepassingen: fotovoltaïsche industrie, flat-panel display-industrie, halfgeleiderindustrie, chemische industrie, laboratoria, wetenschappelijk onderzoek, productie, enz.
Toepasbare processen: plasma-verbeterde chemische dampdepositie (PECVD), plasma-etsen, plasmareiniging, radiofrequentie-ionenbron, plasmadiffusie, plasma-polymerisatie-sputteren, reactief sputteren, enz.

Productdetails

Productlabels

Stuur ons een e-mail

Functies

● Half-brick- en rackmontagestijlen
● Volledige digitale bediening, met een handig en uitgebreid bedieningsmenu
● Frequentieafstemming, puls- en pulssynchronisatiefuncties
● Met CEX-fasesynchronisatiefunctie
● Perfecte beschermingsfunctie

Productdetails

Invoer	Ingangsspanning: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Speciale specificaties kunnen worden aangepast)
Invoer	Ingangsfrequentie: 47~63Hz
Uitvoer	Uitgangsfrequentie: 13,56 MHz, 27,12 MHz en 40,68 MHz
	Afstembereik: ±5%
	Uitgangsvermogen: 1,5~5 kW
	Regelbereik van het uitgangsvermogen: 1~100%
	Uitgangsimpedantie: 50Ω+j0
	Uitvoerinterface: type N
	Uitvoermodus: continu, puls
	Pulsfrequentie: 100Hz~100kHz
	Inschakelduur: 5~95%
Prestatie-index	Vermogensfactor: 0,98
	Nauwkeurigheid van de frequentiestabiliteit: ±0,005%
	Rendement: 75% (bij nominaal vermogen)
	Harmonische: ＜-45dBc
	Afwijkend: ＜-50dBc
	Externe besturingsinterface: analoge hoeveelheid, communicatie en synchronisatie
	Communicatiemodus: standaard RS485-communicatie-interface; optioneel Ether CAT, industrieel Ethernet, enz.
Let op: het product blijft innoveren en de prestaties blijven verbeteren. Deze parameterbeschrijving is slechts ter referentie.