Sputtervoeding
-
MSB-serie middenfrequente sputtervoeding
De RF-voedingen uit de RHH-serie zijn gebaseerd op geavanceerde RF-opwekkingstechnologie om klanten te voorzien van RF-voedingen met een groter vermogen, hogere precisie en een snellere respons. De voedingen zijn fase-instelbaar, pulsregelbaar, digitaal af te stemmen en hebben andere functies. Toepasbare toepassingen: fotovoltaïsche industrie, flat-panel display-industrie, halfgeleiderindustrie, chemische industrie, laboratoria, wetenschappelijk onderzoek, productie, enz.
Toepasbare processen: plasma-verbeterde chemische dampdepositie (PECVD), plasma-etsen, plasmareiniging, radiofrequentie-ionenbron, plasmadiffusie, plasma-polymerisatie-sputteren, reactief sputteren, enz.
-
MSD-serie sputtervoeding
De DC-sputtervoeding van de MSD-serie maakt gebruik van het kern-DC-besturingssysteem van het bedrijf, gecombineerd met een uitstekend boogverwerkingssysteem. Dit resulteert in zeer stabiele prestaties, een hoge productbetrouwbaarheid, minimale boogschade en een goede procesherhaalbaarheid. De displayinterface is Chinees en Engels en eenvoudig te bedienen.