RHH-serie RF-voeding
-
RHH-serie RF-voeding
De RF-voedingen uit de RHH-serie zijn gebaseerd op geavanceerde RF-opwekkingstechnologie om klanten te voorzien van RF-voedingen met een groter vermogen, hogere precisie en een snellere respons. De voedingen zijn fase-instelbaar, pulsregelbaar, digitaal af te stemmen en hebben andere functies. Toepasbare toepassingen: fotovoltaïsche industrie, flat-panel display-industrie, halfgeleiderindustrie, chemische industrie, laboratoria, wetenschappelijk onderzoek, productie, enz.
Toepasbare processen: plasma-verbeterde chemische dampdepositie (PECVD), plasma-etsen, plasmareiniging, radiofrequentie-ionenbron, plasmadiffusie, plasma-polymerisatie-sputteren, reactief sputteren, enz.