RF-voeding
-
RLS-serie RF-voeding
De RF-voeding uit de RLS-serie maakt gebruik van de huidige stabiele en betrouwbare eindversterker en het DC-regelsysteem van het bedrijf, zodat het product zeer stabiele prestaties en een hoge productbetrouwbaarheid heeft.Gebruik de Chinese en Engelse display-interface, eenvoudig te bedienen.Hoofdzakelijk gebruikt in de fotovoltaïsche industrie, flatpanel-display-industrie, halfgeleiderindustrie, chemische industrie, laboratorium, wetenschappelijk onderzoek, productie, enz.
-
Matchers uit de RMA-serie
Het kan worden aangepast aan de RF-voeding uit de RLS-serie en wordt veel gebruikt bij plasma-etsen, coaten, plasmareiniging, plasma-ontgommen en andere processen.Wanneer hij alleen wordt gebruikt, kan hij samen met RF-voedingen van andere fabrikanten worden gebruikt.
-
RHH-serie RF-voeding
De RF-voeding uit de RHH-serie is gebaseerd op volwassen RF-generatietechnologie om klanten te voorzien van RF-voeding met groter vermogen, hogere precisie en snelle respons.Met fase instelbaar, puls regelbaar, digitale afstemming en andere functies.Toepasselijke velden: fotovoltaïsche industrie, flatpanel-display-industrie, halfgeleiderindustrie, chemische industrie, laboratorium, wetenschappelijk onderzoek, productie, enz.
Toepasbare processen: plasma-versterkte chemische dampafzetting (PECVD), plasma-etsen, plasmareiniging, radiofrequentie-ionenbron, plasmadiffusie, plasmapolymerisatiesputteren, reactief sputteren, enz.