MSB-serie sputtervoeding met middelhoge frequentie

Korte beschrijving:

De MSB-serie vertrouwt op zijn uitstekende golfvormmodulatietechnologie voor de uitvoer van DC, DC-puls, bidirectionele blokgolf, bidirectionele trapeziumgolf en andere golfvormen.Het product heeft een instelbare uitgangsgolfvorm, selecteerbare uitgangsfrequentie, instelbare werkcyclus en nauwkeurige vermogensregeling.Evenals een lage energieopslag en een snelle boogreactie.Zorg voor een gemakkelijke en nauwkeurige controle van het coatingproces.De producten worden voornamelijk gebruikt in verschillende dunnefilmproductieprocessen, de zonnecelindustrie en de vacuümcoatingindustrie;toepassingsprocessen: magnetronsputterproces, sputteren met dubbele doelen en buisvormige PECVD.

Product detail

Productlabels

Stuur een e-mail naar ons

Functies

Rekinstallatie
Snelle boogrespons, responstijd<100ns
Lage energieopslag, <0,5 mJ/KW
Meerfasige interleaved PFC-technologie, de arbeidsfactor is zo hoog als 0,95
Er kunnen verschillende uitgangsmodi, continue en intermitterende modi worden geselecteerd
Het invertercircuit maakt gebruik van volledige zachte schakeltechnologie en gebruikt halfgeleider SiC van de derde generatie als voedingsapparaat, met uitstekende efficiëntie
Nauwkeurige boogdetectie, meerdere bewakingsmethoden beschikbaar