MSB-serie sputtervoeding met middelhoge frequentie

Korte beschrijving:

De RF-voeding uit de RHH-serie is gebaseerd op volwassen RF-generatietechnologie om klanten te voorzien van RF-voeding met groter vermogen, hogere precisie en snelle respons.Met fase instelbaar, puls regelbaar, digitale afstemming en andere functies.Toepasselijke velden: fotovoltaïsche industrie, flatpanel-display-industrie, halfgeleiderindustrie, chemische industrie, laboratorium, wetenschappelijk onderzoek, productie, enz.

Toepasbare processen: plasma-versterkte chemische dampafzetting (PECVD), plasma-etsen, plasmareiniging, radiofrequentie-ionenbron, plasmadiffusie, plasmapolymerisatiesputteren, reactief sputteren, enz.

Product detail

Productlabels

Stuur een e-mail naar ons

Functies

● Halfsteens- en rekmontagestijlen

● Maak gebruik van volledige digitale bediening, met een handig en uitgebreid bedieningsmenu

● Frequentieafstemming, puls- en pulssynchronisatiefuncties

● Met CEX-fasesynchronisatiefunctie

● Perfecte beschermingsfunctie

Product detail

Invoer	Ingangsspanning: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Speciale specificaties kunnen worden aangepast)
Invoer	Ingangsfrequentie: 47 ~ 63 Hz
Uitvoer	Uitgangsfrequentie: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Afstembereik: ±5%
	Uitgangsvermogen: 1,5 ~ 5 kW
	Regelbereik van het uitgangsvermogen: 1~100%
	Uitgangsimpedantie: 50Ω+j0
	Uitgangsinterface: type N
	Uitgangsmodus: continu, puls
	Pulsfrequentie: 100 Hz ~ 100 kHz
	Inschakelduur: 5~95%
Prestatie-index	Vermogensfactor: 0,98
	Nauwkeurigheid frequentiestabiliteit: ±0,005%
	Efficiëntie: 75% (bij nominaal vermogen)
	Harmonisch: <-45dBc
	Verdwaald: <-50dBc
	Externe besturingsinterface: analoge hoeveelheid, communicatie en synchronisatie
	Communicatiemodus: standaard RS485-communicatie-interface;Optioneel Ether CAT, industrieel Ethernet, etc.
Let op: het product blijft innoveren en de prestaties blijven verbeteren.Deze parameterbeschrijving is alleen ter referentie.