MSB-serie sputtervoeding met middelhoge frequentie
-
MSB-serie sputtervoeding met middelhoge frequentie
De RF-voeding uit de RHH-serie is gebaseerd op volwassen RF-generatietechnologie om klanten te voorzien van RF-voeding met groter vermogen, hogere precisie en snelle respons.Met fase instelbaar, puls regelbaar, digitale afstemming en andere functies.Toepasselijke velden: fotovoltaïsche industrie, flatpanel-display-industrie, halfgeleiderindustrie, chemische industrie, laboratorium, wetenschappelijk onderzoek, productie, enz.
Toepasbare processen: plasma-versterkte chemische dampafzetting (PECVD), plasma-etsen, plasmareiniging, radiofrequentie-ionenbron, plasmadiffusie, plasmapolymerisatiesputteren, reactief sputteren, enz.