Magnetronvermogen
-
Magnetronvoeding
Magnetronschakelvoeding is een nieuw type microgolfvoeding gebaseerd op IGBT hoogfrequente invertertechnologie. Het integreert een anode-hoogspanningsvoeding, gloeidraadvoeding en magnetische veldvoeding (behalve 3kW magnetronvoeding). De golfmagnetron zorgt voor werkomstandigheden. Dit product wordt gebruikt bij MPCVD, microgolfplasma-etsen, microgolfplasma-ontgommen en andere velden.